| |
Обозначение | ГОСТ 26239.5-84 |
Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей |
Заглавие на английском языке | Semiconductor silicon and quartz. Method of impurities determination |
Дата введения в действие | 01.01.1986 |
ОКС | 29.045 |
Код КГС | В59 |
Код ОКСТУ | 1709 |
Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает нейтронно-активационный метод определения примесей в нелегированном полупроводниковом кремнии и кварце. Метод не распространяется для анализа кремния марок КЭС-0,01 и КЭМ-0,01 |
Ключевые слова |
кремний полупроводниковый; кварц; определение примесей; метод нейтронно-активационный; аппаратура; материалы; реактивы; |
Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
Вид требований | Документ имеет отметку * |
Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 123-78; ГОСТ 618-73; ГОСТ 859-78; ГОСТ 1089-82; ГОСТ 1277-75; ГОСТ 2603-79; ГОСТ 3640-79; ГОСТ 3765-78; ГОСТ 4220-75; ГОСТ 4233-77; ГОСТ 4328-77; ГОСТ 4331-78; ГОСТ 4951-79; ГОСТ 6709-72; ГОСТ 6835-80; ГОСТ 9293-74; ГОСТ 10297-75; ГОСТ 10484-78; ГОСТ 11125-78; ГОСТ 12797-77; ГОСТ 13610-79; ГОСТ 14261-77; ГОСТ 18289-78; ГОСТ 18300-87; ГОСТ 18344-78; ГОСТ 24104-88; ГОСТ 26239.0-84 |
Нормативные ссылки на: Прочие | ОСП 72/87 |
Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
Разработчик МНД | Российская Федерация |
Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
Дата последнего издания | 21.01.1985 |
Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
Количество страниц (оригинала) | 18 |
Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
Статус | Действует |