| |
Обозначение | ГОСТ 26239.1-84 |
Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
Заглавие на английском языке | Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination |
Дата введения в действие | 01.01.1986 |
ОКС | 29.045 |
Код КГС | В59 |
Код ОКСТУ | 1709 |
Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане |
Ключевые слова |
кремний полупроводниковый; двуокись кремния; кварц; кремний четыреххлористый; трихлорсилан; определение примесей методом химико-атомно-эмиссионным; аппаратура; материалы; реактивы; |
Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
Вид требований | Документ имеет отметку * |
Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 123-78; ГОСТ 804-72; ГОСТ 849-70; ГОСТ 859-78; ГОСТ 1277-75; ГОСТ 1467-77; ГОСТ 3118-77; ГОСТ 3640-79; ГОСТ 3778-77; ГОСТ 4331-78; ГОСТ 4461-77; ГОСТ 4526-75; ГОСТ 4530-76; ГОСТ 5905-79; ГОСТ 6008-82; ГОСТ 6835-80; ГОСТ 6836-80; ГОСТ 10216-75; ГОСТ 10262-73; ГОСТ 10928-75; ГОСТ 11069-74; ГОСТ 11125-84; ГОСТ 13610-79; ГОСТ 13637.1-77; ГОСТ 14261-77; ГОСТ 16539-79; ГОСТ 17746-79; ГОСТ 18300-87; ГОСТ 22516-77; ГОСТ 23463-79; ГОСТ 26239.0-84 |
Нормативные ссылки на: Прочие | ТУ 6-09-5382-88 |
Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
Разработчик МНД | Российская Федерация |
Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
Дата последнего издания | 21.01.1985 |
Входит в сборник | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Методы анализа |
Количество страниц (оригинала) | 19 |
Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
Статус | Действует |