ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Обозначение
ГОСТ 25196-82
Заглавие на русском языке
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Заглавие на английском языке
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата введения в действие
01.07.1983
ОКС
23.160
Код ОКП
627335
Код КГС
Э71
Код ОКСТУ
6273
Индекс рубрикатора ГРНТИ
4713
Аннотация (область применения)
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники